专利
专利名称：一种旋转工作台及晶圆减薄机
专利号：201510944528.9
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-16
专利名称：一种晶圆测量装置
专利号：201510929880.5
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-15
专利名称：一种超薄晶圆片吸附搬运机构
专利号：201510924064.5
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-11
专利名称：一种研磨磨头保护装置
专利号：201510917890.7
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-11
专利名称：一种承片系统
专利号：201510917127.4
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-10
专利名称：一种真空陶瓷吸盘
专利号：201510916605.X
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-10
专利名称：一种半导体抓取装置
专利号：201510901611.8
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-09
专利名称：一种薄片运输手爪装置
专利号：201510872638.9
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-02
专利名称：一种分度回转工作台及分度回转工作台系统
专利号：201510859898.2
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-01
专利名称：一种晶圆抓取系统
专利号：201510852353.9
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-11-30
专利名称：一种砂轮修整装置
专利号：201510866894.7
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-11-30
专利名称：一种吸附装置
专利号：201510856924.6
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-11-30
专利名称：一种金属化学机械抛光的方法
专利号：201611250890.7
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2016-12-29
专利名称：一种形成空气隙/铜互连的工艺方法
专利号：201611240358.7
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2016-12-28
专利名称：一种空气隙/铜互连结构的制造方法
专利号：201611240356.8
专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
时间：2016-12-28