专利
专利名称：一种减薄机的真空过滤系统及方法
专利号：2016111482990
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2016-12-13
专利名称：一种芯片涂胶装置及方法
专利号：2016111384038
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2016-12-12
专利名称：一种磨轮位置标定系统及方法
专利号：2016111465995
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2016-12-13
专利名称：一种端面自旋转清洗机械手系统
专利号：2016110384115
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2016-11-11
专利名称：一种磨轮安装定位结构
专利号：2016111564168.0
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2016-12-14
专利名称：一种回转工作台的驱动系统及回转工作台装置
专利号：201510996949.6
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-28
专利名称：一种晶圆干式抛光装置及方法
专利号：201510996635.6
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-28
专利名称：一种晶圆对准检测方法及系统
专利号：201510996708.1
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-28
专利名称：一种气浮式旋转工作台工位切换的控制方法及装置
专利号：201511000127.4
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-28
专利名称：一种FOUP装载门装置
专利号：201511006037.6
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-24
专利名称：一种回转工作台装置及晶圆减薄机
专利号：201510988775.9
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-23
专利名称：一种承片台系统
专利号：201510977408.9
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-23
专利名称：一种半导体专用设备用主轴角度自动调整装置
专利号：201510970115.8
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-21
专利名称：一种晶片中心定位装置
专利号：201510957627.0
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-21
专利名称：一种旋转测速装置
专利号：201510952625.2
专利权人：北京中电科电子装备有限公司
时间：2015-12-18