专利
专利名称： 一种晶棒固定装置
专利号： 201621296061.8
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-11-29
专利名称： 化学品供应装置
专利号：201620560353.1
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-06-12
专利名称： 尾气管路加热装置
专利号：201620623889.3
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-06-22
专利名称： 晶盒包装装置
专利号：201620486186.0
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-05-25
专利名称： 晶盒封装装置
专利号：201620480746.1
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-05-24
专利名称： 硅单晶棒回收装置
专利号：201620480717.5
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-05-24
专利名称： 气体处理装置
专利号：201620692353.7
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-07-04
专利名称： 一种气体管路
专利号：201620691686.8
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-07-01
专利名称： 石英腔体的固定治具及清洗装置
专利号：201620490839.2
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-05-25
专利名称： 一种半导体衬底的制作方法
专利号： 201710208601.5
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2017-03-31
专利名称： 一种可用作挡片或控片的晶片制备方法及晶片
专利号： 201710208599.1
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2017-03-31
专利名称： 一种坩埚及制造方法
专利号： 201710209422.3
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2017-03-31
专利名称： 一种晶片吸杂方法
专利号： 201710193120.1
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2017-03-28
专利名称： 一种减少晶片缺陷的设备及方法
专利号： 201710193119.9
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2017-03-28
专利名称： 一种复合碳纳米管超导芯线材结构及其制备方法
专利号： 201710209378.6
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2017-03-31