专利

专利名称：一种便携式扩管装置
专利号：201710039054.2
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2017-01-21
专利名称：兆声清洗中晶圆转速检测装置、清洗系统及其工作过程
专利号：201611208143.7
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-23
专利名称：一种用于CMP设备的抛光垫活化器施压机构及其运行方法
专利号：201611207197.1
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-23
专利名称：一种晶圆定位装置
专利号：201611205869.5
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-23
专利名称：一种便携式扩管装置
专利号：201611208977.8
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-23
专利名称：CMP后清洗设备清洗刷惰轴结构及使用方法
专利号：201611207243.8
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-23
专利名称：CMP后清洗设备组合轮结构及使用方法
专利号：201611208142.2
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-23
专利名称：CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法
专利号：201611208175.7
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-23
专利名称：CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构及使用方法
专利号：201611205921.7
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-23
专利名称：CMP后清洗设备晶片惰轮结构及使用方法
专利号：201611207241.9
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-23
专利名称：一种晶圆电镀装置及电镀方法
专利号：201611192353.1
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-21
专利名称：一种晶圆电镀装置及电镀方法
专利号：201611192354.6
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-21
专利名称：一种晶圆电镀装置及电镀方法
专利号：201611190754.3
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-21
专利名称：一种晶圆电镀装置及电镀方法
专利号：201611192352.7
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-21
专利名称：化学机械平坦化中修整电机的跟踪扫描算法
专利号：201611158576.6
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2016-12-14
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