专利
专利名称：晶圆夹持装置
专利号：201610852803.9
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-26
专利名称：晶圆传输装置
专利号：201610855022.5
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-26
专利名称：化学机械抛光多区压力在线控制算法
专利号：201610139592.4
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-03-09
专利名称：多压力分区抛光头的静态加压控制算法
专利号：201610133292.5
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-03-09
专利名称：多工位化学机械抛光系统中晶圆传送的控制方法
专利号：201610030932.X
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-01-18
专利名称：一种晶圆加持机构和状态检测方法
专利号：201610011801.7
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-01-05
专利名称：晶圆夹持机构
专利号：201610010994.4
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-01-05
专利名称：晶圆夹持机构
专利号：201610010992.5
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-01-05
专利名称：晶圆清洗干燥装置
专利号：201610010190.4
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-01-05
专利名称：化学机械抛光机
专利号：201610010189.1
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-01-05
专利名称：抛光盘组件以及具有其的抛光机
专利号：201620015694.0
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-01-05
专利名称：一种分数阶傅立叶变换的白光反射测量膜厚的方法
专利号：2017100116622
专利权人：中国计量大学
时间：2017-01-07
专利名称：一种晶圆夹紧装置
专利号：201710039066.5
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2017-01-19
专利名称：一种晶圆翻转及安全保护设备和晶圆清洗方法
专利号：201710039040.0
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2017-01-19
专利名称：一种紧凑型可调节的抛光液输送臂及其工作过程
专利号：201710038747.X
专利权人：中国电子科技集团公司第四十五研究所
时间：2017-01-19