专利
专利名称：加工制备蓝宝石晶片的方法
专利号：201610815647.9
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-12
专利名称：化学机械抛光方法和装置
专利号：201610824467.7
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-14
专利名称：一种用于控片回收的化学机械抛光方法
专利号：201610839476.3
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-20
专利名称：压力加载膜
专利号：201610822183.4
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-13
专利名称：抛光设备的抛光方法
专利号：201610847702.2
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-23
专利名称：化学机械抛光系统
专利号：201621056481.9
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-14
专利名称：硅通孔晶圆平坦化方法
专利号：201610885056.9
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-10-11
专利名称：气路压力响应系统
专利号：201610828823.2
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-14
专利名称：真空源切换装置
专利号：201621090244.4
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-28
专利名称：晶圆的支撑装置
专利号：201621085830.X
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-27
专利名称：抛光机
专利号：201621078823.7
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-26
专利名称：修整器进气系统以及抛光机
专利号：201610861615.2
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-28
专利名称：修整器进气系统以及抛光机
专利号：201610855025.9
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-26
专利名称：抛光头以及具有其的抛光机
专利号：201610912534.0
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-10-20
专利名称：抛光头以及具有其的抛光机
专利号：201610912181.4
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-10-20