专利
专利名称：晶圆片的卸片辅助装置、卸片装置和具有其的CMP设备
专利号：201621085829.7
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-28
专利名称：晶圆片的卸片方法、辅助装置、装置和具有其的CMP设备
专利号：201610854420.5
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-27
专利名称：CMP设备抛光头掉片检测系统
专利号：201621085173.9
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-27
专利名称：CMP设备抛光头掉片检测方法和系统
专利号：201610854416.9
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-27
专利名称：模块化总线式互锁单元
专利号：201621086278.6
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-27
专利名称：模块化总线式电磁阀组的互锁装置
专利号：201610859497.1
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-27
专利名称：测量润滑剂摩擦力的装置
专利号：201610857556.1
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-28
专利名称：膜厚测量装置及具有其的用于制造晶片的系统
专利号：201610856282.4
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-28
专利名称：定位组件
专利号：201610855751.0
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-27
专利名称：抛光设备
专利号：201610859516.0
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-28
专利名称：铜CMP在线测量点实时定位方法及系统
专利号：201610867097.5
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-29
专利名称：CMP过程中铜层厚度在线测量系统及其控制方法
专利号：201610875030.6
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-30
专利名称：CMP金属膜厚测量数据的离线分段处理方法和处理系统
专利号：201610802034.1
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-05
专利名称：CMP全工艺过程金属膜厚数据的离线处理方法
专利号：201610874828.9
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-09-30
专利名称：浆臂以及抛光机
专利号：201621106610.0
专利权人：天津华海清科机电科技有限公司、清华大学
时间：2016-10-08
