专利

专利名称：用于浸没式光刻机的双工件台装置以及浸没式光刻机
专利号：201610510702.3
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2016-06-30
专利名称：一种浸没式光刻系统和浸没流场维持方法
专利号：201610255529.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2016-04-22
专利名称：一种具有偏压补偿的伺服控制系统及其偏压补偿方法
专利号：201610193276.5
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2016-03-30
专利名称：一种浸液限制机构及温度补偿方法
专利号：201610113097.6
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2016-02-29
专利名称：扫描反射镜监测系统及方法、调焦调平系统
专利号：201610052984.7
专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
时间：2016-01-26
专利名称：一种基于液态金属的换流阀冷却系统
专利号：201610024186.3
专利权人：全球能源互联网研究院
时间：2016-01-14
专利名称：一种用于IGBT模块的混合功率循环检测装置及其检测方法
专利号：201611125731.4
专利权人：全球能源互联网研究院
时间：2016-12-09
专利名称：一种IGBT浪涌电流测试电路拓扑及方法
专利号：201611060556.5
专利权人：全球能源互联网研究院
时间：2016-11-25
专利名称：一种大功率IGBT动态测试电路及其控制方法
专利号：201610893753.9
专利权人：全球能源互联网研究院
时间：2016-10-13
专利名称：一种用于清除交直流系统故障电流的电路及其控制方法
专利号：201621235991.2
专利权人：1 全球能源互联网研究院、2 国家电网公司
时间：2016-11-17
专利名称：一种用于柔性直流输电MMC阀的检验电路及方法
专利号：201710060864.6
专利权人：1 全球能源互联网研究院、2 国家电网公司
时间：2017-01-25
专利名称：一种柔性直流换流阀和直流断路器合成试验电路拓扑
专利号：201611231893.6
专利权人：1 全球能源互联网研究院、2 国家电网公司
时间：2016-12-28
专利名称：一种MMC换流阀稳态运行试验电路及其控制方法.
专利号：201610943410.9
专利权人：1 全球能源互联网研究院、2 国家电网公司
时间：2016-11-02
专利名称：一种模块化多电平柔性直流换流阀运行试验电路稳定控制方法
专利号：201610935560.5
专利权人：1 全球能源互联网研究院、2 国家电网公司
时间：2016-11-01
专利名称：一种混合式快速直流断路器
专利号：201510618461.X
专利权人：1 国网智能电网研究院、2 国家电网公司
时间：2015-09-25
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