专利

专利名称： 低温外延方法及设备
专利号： 201610327612
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-05-17
专利名称： 机械手臂的监控系统及监控方法
专利号： 201610428174.7
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-06-16
专利名称： 一种机械手臂及基板的抓取方法
专利号： 201610443457.9
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-06-20
专利名称： 石英腔体的清洗装置及清洗方法
专利号： 201610356861.2
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-05-25
专利名称： 外延设备
专利号： 201610278856.4
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-04-28
专利名称： 外延设备腔室盖板
专利号： 201610278900.1
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-04-28
专利名称： 外延生长设备
专利号： 201610353583.5
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-05-25
专利名称： 一种外延生长方法
专利号： 201610463905.1
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-06-26
专利名称： 一种激光退火装置及激光退火方法
专利号： 201610334207.1
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-05-19
专利名称： 晶盒清洗设备
专利号： 201610596315.6
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司 上海新阳半导体材料股份有限公司
时间：2016-07-27
专利名称： 石英腔体的清洗方法
专利号： 201610356764.3
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-05-25
专利名称： 基板的抓取装置及其抓取方法
专利号： 201610482087.X
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-06-27
专利名称： 真空纳米管场效应晶体管及其制造方法
专利号： 201610307101.2
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-05-10
专利名称： 纳米线半导体器件及其制造方法
专利号： 201610150107.3
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-03-16
专利名称： 真空纳米管场效应晶体管及其制造方法
专利号： 201610307379.X
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-05-10
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