中国科学院上海微系统所所长，2009年当选为中国科学院院士。1987年毕业于清华大学工程物理系，1990年、1993年分别获中科院上海冶金所（现上海微系统所）硕士、博士学位。1993年至1994年任上海微系统所助理研究员期间赴澳大利亚访问学者，1996年5月至1998年6月赴德国访问学者。是国务院颁发政府特殊津贴、中科院“百人计划”、国家杰出青年基金（总理基金）、中科院第八届杰出青年以及上海市科技领军人物获得者，2006年获得国家科技进步一等奖，2008年获得何梁何利基金会科学与技术进步奖。现任中国科学院上海微系统所所长，中国科学技术协会第九届全国委员会副主席，中共十八大代表。2017年4月起任中国科学院上海高等研究院院长。