北方华创微电子获Micro-OLED设备订单 切入新型显示领域
2018-03-27
集微网消息，2018年3月，北方华创微电子12英寸刻蚀机、PVD及立式退火炉获得合肥视涯显示科技有限公司的批量采购订单，标志着北方华创微电子半导体设备技术成功延伸应用于硅基OLED（Micro-OLED）这一新型显示领域。
视涯显示是一家从事硅基微型显示技术开发和生产的公司。公司致力于开发全球领先的微型显示器件——Micro-OLED显示技术，并计划在合肥建设12英寸晶圆厂，生产Micro-OLED显示器件，成为全球最大的Micro-OLED显示器件生产基地。
Micro-OLED是以单晶硅为有源驱动背板制作的OLED显示器件，区别于常规的利用非晶硅、微晶硅或者低温多晶硅薄膜晶体管（LPTS）为背板的AMOLED器件，其像素为传统显示器件的1/10，具有高分辨率、高集成度、低功耗、体积小、重量轻等优势。随着VR/AR的广泛应用，Micro-OLED等新型显示技术得以快速发展。据高盛预测，到2025年，VR和AR的软硬件年销售额将达到800亿美元。
Micro-OLED是半导体技术与OLED显示技术完美结合的产物，可利用半导体制造工艺来实现。北方华创微电子利用半导体设备技术基础，已经成功的将金属刻蚀、介质刻蚀、金属溅射、氧化物溅射、中低温退火等工艺设备应用于Micro-OLED显示领域，相关设备可兼容多种衬底，具备灵活的工艺整合能力，满足新型显示领域客户多种制造工艺的要求。