“厚”积“薄”发，北方华创12英寸背金PVD助推功率半导体产业发展
2020-05-26 北方华创
2020年5月20日，厦门士兰集科微电子12英寸生产线建设项目首批设备搬入仪式在厦门工厂举行，北方华创12英寸背金PVD系统作为首批设备在仪式上搬入厂房。
北方华创12英寸背金PVD系统采用Polaris平台，工艺腔室配置灵活，并专门针对功率半导体特色薄片工艺需求进行开发。其定制化的软件服务可与客户生产系统无缝集成，保障客户快速稳定量产。薄片自动翻转和传输、应力控制技术、工艺温度实时监控及反应刻蚀等自主研发的先进技术，为12英寸薄片翘曲控制以及背面金属薄膜粘附力提供有力保障，极大地拓展了工艺空间。12英寸背金PVD系统可以为用户带来更强的兼容性、更便利的维护特性和更小的占地面积。此外，北方华创还可为12英寸功率半导体领域提供包括eVictor系列厚Al PVD系统、ALB系统（PVDTi+MOCVD TiN）、W CVD系统和专门应用于特色工艺的硅刻蚀、硅外延、立式炉以及槽式清洗等设备。北方华创遍布全国的客服网点以优质的技术服务践行“客户在哪里，服务就在哪里”的服务理念。
Polaris B630
北方华创始终聚焦科技创新，将前沿技术、工匠精神融入新兴技术的装备制造与工艺技术研发中，满足不同行业与客户的新需求。
2018年10月18日，士兰厦门12英寸特色工艺芯片生产线暨先进化合物半导体生产线在厦门海沧动工，这是国内首条12英寸特色工艺芯片制造生产线和下一代化合物生产线。2020年5月10日，士兰厦门12英寸特色工艺半导体芯片项目正式通电，5月20日，首批设备入场。随着该项目稳步推进，预计生产线年底可实现通线。