我国光刻机工件台产业化基地开工建设
2017-06-12 重大专项网站
2017年6月6日，在“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项（以下简称“集成电路装备专项”）支持下，华卓精科亦庄园区暨光刻机工件台产业化基地举行奠基仪式。该产业化基地2018年建成后，将实现我国自主研发的被誉为“超精密制造皇冠明珠”的光刻机工件台的批量生产，助力我国集成电路制造研发生产再上新台阶。
华卓精科亦庄园区暨光刻机工件台产业化基地按照集成电路装备专项对光刻机及其零部件产业化的总体要求，由北京华卓精科科技股份有限公司投资建设。该项目主要围绕光刻机工件台系统研发和产业化，打造从光刻机工件台的研发生产到相关超精密运动系统集成电路制造装备及其核心零部件的研发生产的完整产业链，着力打造一个现代化、标准化、规范化的集成电路制造装备核心零部件的产业基地。
光刻机是制造大规模集成电路的核心装备。为将设计图形制作到硅片上，并在2～3平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管，光刻机需达到几十纳米甚至更高的图像分辨率。而光刻机两大核心部件之一的工件台，在高速运动下需达到2nm（相当于头发丝直径的三万分之一）的运动精度。由此奠定了光刻机超精密工件台技术在超精密机械制造与控制领域的最尖端地位，被称为超精密技术皇冠上的明珠。该光刻机工件台产业化基地总投资4.9亿元，占地30亩，建筑面积37000多平米，建成后达产将达到产值5亿元以上，预计2018年正式投入使用，将形成利税过亿元的高科技集成电路装备企业。