叶甜春
2017-08-25
中国科学院微电子研究所所长、02专项技术总师。从“十一五”开始，担任国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（02专项）总体专家组组长及专职技术责任人（国务院任命），负责专项任务的组织管理工作。叶甜春长期从事集成电路制造技术、微纳加工技术与工程化、宇航器件与电路、物联网核心技术、EDA技术等方面的研究工作。在先进光刻与纳米加工、等离子刻蚀工艺与装备、高可靠特色工艺与电路、集成电路先导工艺与器件等关键领域取得了系统的创新性成果。主持的02专项项目“22nm关键工艺技术先导研究与平台建设”和参与的“16/14nm基础技术”项目研究成果，使我国集成电路前沿工艺技术研发推进了5代进入到14nm；主持的抗辐射SOI电路和X射线短波元件的高可靠特色制造技术获得明显突破，研制的多款产品成功应用于嫦娥、北斗、遥感、载人航天和激光聚变等20多项国家重大工程。先后获得中国科学院杰出科技成就奖1项、国家技术发明二等奖2项、国家科技进步二等奖1项、中国电子学会技术发明奖一等奖1项、北京市科学技术奖一等奖1项。