雷震霖
2017-09-06
雷震霖，工学博士，研究员。现任中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司董事长、真空技术装备国家工程实验室主任、国家真空仪器装置工程技术研究中心主任，兼任集成电路零部件产业技术创新联盟理事长、辽宁半导体装备产业创新联盟理事长、沈阳IC装备产业创新联盟理事长。
雷震霖在半导体薄膜制备设备、真空获得技术方面具有较扎实的理论基础和较高的技术水平，作为沈阳拓荆公司创始人之一，承担的国家02专项“等离子体化学沉积-PECVD”项目成功产业化，并在国内集成电路芯片制造主流生产线上批量应用。作为沈阳科仪公司董事长，带领团队开发出9种型号罗茨干泵，产品已在国内集成电路芯片制造及装备企业大批量应用。先后获国家科技进步三等奖一项、中国科学院科技进步一等奖二项、辽宁省科技进步一等和三等奖各一项、辽宁省领军人才等多项奖励。在《半导体学报》、《真空科学与技术》等专业杂志发表学术论文30余篇。