专利
专利名称： 一种纳米线存储器结构及其制备方法
专利号： 201610679692.6
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-08-17
专利名称： 半导体晶圆的抛光方法
专利号： 201610899466.9
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-10-14
专利名称： 一种半导体晶圆的抛光方法
专利号： 201610898646.5
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-10-14
专利名称： 一种半导体晶盒清洗干燥储存一体化方法及设备
专利号： 201610850773.8
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-09-26
专利名称： 一种拉晶炉的拉晶机构
专利号： 201610814793.X
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-09-09
专利名称： 一种外延设备、设备制作方法及外延方法
专利号： 201610664963.0
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-08-12
专利名称： 刻蚀方法、刻蚀装置及半导体晶圆分割方法
专利号： 201610778104.4
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-08-30
专利名称： 一种刻蚀方法、刻蚀装置及半导体晶圆分割方法
专利号： 201610778065.8
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-08-30
专利名称： 一种晶圆减薄方法及减薄的晶圆结构
专利号： 201610637636.6
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-08-05
专利名称： 一种晶圆减薄方法及装置
专利号： 201610638222.5
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-08-05
专利名称： 一种晶圆片架的取放片装置
专利号： 201610588892.0
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-07-25
专利名称： 一种存储器结构及其制备方法
专利号： 201610589314.9
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-07-25
专利名称： 在石英坩埚中制备硅熔融体的方法
专利号： 201610543465.0
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-07-12
专利名称： 直拉生长单晶硅的方法
专利号： 201610544093.3
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-07-12
专利名称： 一种半导体晶片湿法清洗设备
专利号： 201610485915.5
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-06-28