专利

专利名称： 機械手臂的監控系統及其監控方法
专利号： 105137319
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-11-15
专利名称： 機械手臂及基板的抓取方法
专利号： 105137687
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-11-17
专利名称： 石英腔体的清洗裝置及清洗方法
专利号： 105135140
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-10-28
专利名称： 磊晶設備
专利号： 105130220
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-09-19
专利名称： 磊晶設備腔室蓋板
专利号： 105129864
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-09-13
专利名称： 磊晶生長設備
专利号： 105135781
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-11-03
专利名称： 磊晶生長方法
专利号： 105138314
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-11-22
专利名称： 一種雷射退火裝置及雷射退火方法
专利号： 105133605
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-10-18
专利名称： 晶盒清洗設備
专利号： 105142807
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-12-22
专利名称： 石英腔体的清洗方法
专利号： 105134611
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-10-24
专利名称： 基板的抓取裝置及其抓取方法
专利号： 105139540
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司 上海新阳半导体材料股份有限公司
时间：2016-11-30
专利名称： 真空奈米管場效電晶體及其製造方法
专利号： 105131360
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-09-29
专利名称： 奈米線半導體元件及其製造方法
专利号： 105127931
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-08-31
专利名称： 真空奈米管場效電晶體及其製造方法
专利号： 105130501
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-09-21
专利名称： 白努利基座
专利号： 105129508
专利权人： 上海新昇半导体科技有限公司
时间：2016-09-10
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